焼成炉の加工・成形及びアニール炉

800℃から1600℃までの加熱に対応できます。

モジュールヒーターの設計、組込受託から設置まで対応いたします。

ガラスアニーリング用パネル

オートクレープ用外加熱ヒーター

​縦型加熱炉

ウェハーアニーリング用マッフル

拡散炉用ガス加熱ライン

1700℃焼成炉組立